质量流量控制器（MASS FLOW CONTROLLER 简称MFC)，它通常由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器管道、机壳、调节阀等部件组成。
质量流量控制器用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气相色谱仪，光导纤维制造设备中。
控制回路中包含压力和温度传感器，受温度和压力影响较大。
主要厂家：日本Horiba。